抗靜電陶瓷手臂在科技及電子工業領域中，尤其是半導體製造和電子組裝中。抗靜電end effector的主要功能是防止靜電積聚，從而避免對敏感電子元件造成損害。抗靜電陶瓷手臂可以分為兩種主要類型：使用抗靜電陶瓷材料製成的，以及在一般陶瓷上添加抗靜電塗層的。以下是這兩種類型的優勢、特色及應用：

抗靜電陶瓷材料(更多)
抗靜電陶瓷是一種特別設計的陶瓷，可以消散或防止靜電的積聚。它們用於保護敏感的電子設備，防止無菌環境的污染，並提高各種行業的安全性。這些陶瓷通常具有導電塗層或添加劑，以實現其抗靜電特性，它們的使用有助於維護產品質量和可靠性，同時降低了靜電放電相關損壞的風險。
龍燡開發的陶瓷材料中含有降低電阻的原料，使陶瓷可具有原有的機械性質，但改變了電性性質，與陶瓷再加一層表面鍍膜不同，將不會因表摩擦而改變了表面電性性質 ，電阻可維持在e 106~10 歐姆。
優勢
內在抗靜電性：材料本身具有抗靜電性，不易因磨損或損壞而失去功能。
耐久性：陶瓷材料通常具有高硬度和耐磨損特性，延長了end effector的使用壽命。
耐高溫性：陶瓷材料能夠承受高溫環境，適合於需要高溫操作的應用。
特色
穩定的抗靜電性能：由於抗靜電特性是材料固有的，性能穩定且不易受外界影響。
高機械強度：能夠支撐較重的工件並抵抗機械應力。


一般陶瓷加上抗靜電塗層
優勢
成本效益：通常比全抗靜電陶瓷材料便宜，適合預算有限的應用。
靈活性：可以將塗層應用於多種基礎材料，提供更大的設計靈活性。
特色
可定制性能：抗靜電塗層的厚度和材料可以根據具體需求進行調整。
多樣性：可以在不同的陶瓷基材上應用，適應不同的工作環境需求。




抗靜電end effector在半導體製程中的應用主要包括以下幾個方面：

晶圓搬運：在晶圓的搬運過程中，抗靜電end effector可以防止靜電對晶圓表面的損害，確保晶圓在運輸過程中的安全。

裝載與卸載：在自動化設備中，抗靜電end effector可以有效地裝載和卸載晶圓，減少靜電引起的吸附或滑動問題。

清洗過程：在晶圓清洗過程中，使用抗靜電end effector可以避免靜電吸附灰塵和顆粒，確保清洗效果。

測試與檢查：在測試和檢查過程中，抗靜電end effector可以防止靜電干擾測量結果，確保數據的準確性。

封裝過程：在半導體封裝時，抗靜電end effector能夠保護敏感元件，避免靜電放電對元件造成損害。

客戶應用

提供晶圓層級的應用，包括：

• 晶圓翹曲、扭曲和平整度
• 多層厚度
• 薄膜厚度
• 粗糙度
• 晶圓級包裝技術的2D和3D關鍵尺寸

 

基於光學干涉和光學反射技術的測量方法：

• 光譜相干干涉：可測量單層和多層厚度及晶圓形狀
• 干涉顯微鏡：用於測量3D拓撲
• 反射率測量：用於薄膜層的測量