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陶瓷真空吸盤
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陶瓷真空吸盤
 
龍燡所提供的真空吸盤,為由多孔陶瓷製成的陶瓷真空吸盤,並且提供方形以及圓形的不同形狀、不同應用方式的真空吸盤。並且提供不同尺寸大小的陶瓷,共有4、6、8、12吋的不同大小。應用於半導體的圓形真空吸盤及部分方形吸盤,規格會在平面度5μm以內,透氣度不可大於30kpa,陶瓷正壓吹氣大於3kg,這些是普遍半導體切割用真空吸盤的需求規格。
 
 
 

真空吸盤的特色:
 
1. 可吸附翹曲、鏤空工件
2. 可吸附多種不同尺寸
3. 最小氣孔孔徑可達2μm,平面細緻可使工件接觸面不產生任何痕跡
4. 機械強度佳
5. 可用於高作業溫度
6. 具靜電消散作用
7. 抗化學性

應用原理:

當設定的氣流量為流入陶瓷內時(真空壓力為負壓時),可將工件吸附。
當設定的氣流量為流出陶瓷外時(真空壓力為正壓時),可將工件吹起、上浮或不接觸陶瓷。

目前應用範圍:

半導體產業應用:
晶圓傳送
晶圓切割
雷射切割
晶圓研磨
晶圓清洗

真空吸盤適用機器:
磨床
雕刻機
雷射雕刻機
測量機


真空吸盤底座材質

 
真空吸盤的底座也可以用不同的材質去製作,可根據客戶的需求去做客製化。
真空吸盤的材質包括不鏽鋼、花崗岩、陶瓷及鋁


 
其他連結: 真空吸盤