 |
TW
｜
English
陶瓷真空吸盤
真空吸盤
真空吸盤主要是由多孔陶瓷和邊框所組成，也可以稱做多孔陶瓷真空吸盤。
並且可應用在半導體晶圓以及光電產業。
真空吸盤的特色：
1. 可吸附翹曲、鏤空工件
2. 可吸附多種不同尺寸
3. 最小氣孔孔徑可達2μm，平面細緻可使工件接觸面不產生任何痕跡
4. 機械強度佳
5. 可用於高作業溫度
6. 具靜電消散作用
7. 抗化學性
應用原理：
當設定的氣流量為流入陶瓷內時(真空壓力為負壓時)，可將工件吸附。
當設定的氣流量為流出陶瓷外時(真空壓力為正壓時)，可將工件吹起、上浮或不接觸陶瓷。
目前應用範圍：
半導體產業應用：
晶圓傳送
晶圓切割
雷射切割
晶圓研磨
晶圓清洗
光電產業應用：
取放吸盤
貼合平台
氣浮軸
非接觸傳輸
真空吸盤是用機器：
磨床
雕刻機
雷射雕刻機
測量機
其他連結:
http://www.longyi.com.tw/edcontent_d.php?lang=tw&tb=2&id=316
https://youtu.be/HZ15ob_tD6E
