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陶瓷真空吸盤
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真空吸盤                              
 
  真空吸盤主要是由多孔陶瓷和邊框所組成,也可以稱做多孔陶瓷真空吸盤。
並且可應用在半導體晶圓以及光電產業。
 

真空吸盤的特色:

1. 可吸附翹曲、鏤空工件
2. 可吸附多種不同尺寸
3. 最小氣孔孔徑可達2μm,平面細緻可使工件接觸面不產生任何痕跡
4. 機械強度佳
5. 可用於高作業溫度
6. 具靜電消散作用
7. 抗化學性


應用原理:

當設定的氣流量為流入陶瓷內時(真空壓力為負壓時),可將工件吸附。
當設定的氣流量為流出陶瓷外時(真空壓力為正壓時),可將工件吹起、上浮或不接觸陶瓷。


目前應用範圍:

半導體產業應用:
晶圓傳送
晶圓切割
雷射切割
晶圓研磨
晶圓清洗

光電產業應用:
取放吸盤
貼合平台
氣浮軸
非接觸傳輸

真空吸盤是用機器:
磨床
雕刻機
雷射雕刻機
測量機

 

其他連結:

http://www.longyi.com.tw/edcontent_d.php?lang=tw&tb=2&id=316​

https://youtu.be/HZ15ob_tD6E​