EN
繁體中文
Air Floating Stages
Home    |    Products    |    Vacuum Chuck    |    Air Floating Stages

Item no.           L        W        T           Flatness          Porosity        Bending    

C-PRO-GB-010         100      100     28          0.002      35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-020          200      200      28          0.005     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-025         250      250       28          0.005     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-030         300      300       30          0.008     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-040         400      400       30          0.010     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-050         540      440       65          0.012     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-060         700      500       80          0.015     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-070         1000    700       90          0.020     35~40%       >6kgf/cm2

C-PRO-GB-1500       1500    750      100          0.030     35~40%       >6kgf/cm2